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雙腕玻璃基闆搬運機器人
負載：95KG
動作範圍：2300mm
控制櫃：DX100
用途：搬運、潔淨室
SEMISTAR-VD95D
适用于真空環境内最大(dà)搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基闆搬運機器人！
雙腕玻璃基闆搬運機器人負載：95KG動作範圍：2300mm控制櫃：DX100用途：搬運、潔淨室特 點：大(dà)動作範圍：最大(dà)搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基闆搬運機器人手臂采用連杆機構實現高鋼性采用真空内傳送帶驅動實現低放(fàng)出氣體(tǐ)性能手臂可内置基闆傳感器用配線
特 點：
大(dà)動作範圍：最大(dà)搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基闆搬運機器人
手臂采用連杆機構實現高鋼性
采用真空内傳送帶驅動實現低放(fàng)出氣體(tǐ)性能
手臂可内置基闆傳感器用配線
項目
規格
備注
名稱
機型
XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構造
水平多關節形(4個自由度)
動作範圍
L，R軸(伸縮)
2300mm
S軸(旋轉)
-170°~+170°
U軸(升降)
150mm
動作時間*1 (最高速度運作時)
3.2秒以下(xià)
2300mm伸縮距離(lí)
S軸(回轉)
3.8秒以下(xià)
340deg旋轉距離(lí)(但L，R=0)
2.5秒以下(xià)
150mm升降距離(lí)
重複定位精度*2
各軸±0.3mm
抓手安裝部分(fēn)中(zhōng)心位置時
手臂抖動精度
±0.3mm以下(xià)
水平方向，抓手安裝部分(fēn)中(zhōng)心位置時
負載
95KG/手臂
含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4)
最大(dà)118kg·m2
含抓手重量，抓手安裝部分(fēn)中(zhōng)心位置時
耐真空度
1*10-6Pa
本體(tǐ)質量
1500kg
适用控制櫃式樣
ERDR-VD0095D-A00
三相AC200V，3.0kVA
*1：動作節拍不保證帶有基闆時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分(fēn)的鋼性産生(shēng)共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432标準的動作重複定位精度。但有無工(gōng)件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在内。
